Vegna mikillar hörku og brothættu iðnaðarkeramik eru hefðbundnar vinnsluaðferðir mjög erfiðar og krefjast sérhæfðra ferla:
1. Myndunartækni
Þurrpressun: Hentar fyrir einfalda-laga hluta, ódýran en takmarkaða nákvæmni.
Sprautumótun: Getur framleitt flókin mannvirki, svo sem litlu keramikgíra, þarf að bæta við miklu magni af bindiefni.
Steypa: Notað til að framleiða ofur-þunnt keramik undirlag (þykkt<0.1mm).
2. Sinterunarferli
Atmospheric Pressure Sintering: Mikil hagkvæmni, en minni þéttleiki.
Hot Isostatic Pressing (HIP): Bætir efnisþéttleika með háþrýstiargonumhverfi-, nær eiginleikum nálægt fræðilegum gildum.
3. Nákvæmni vinnslutækni
Demantslípun: Notar demantarhjól til að vinna flatt eða bogið yfirborð, sem nær nákvæmni allt að ±1μm.
Laservinnsla: Femtósekúndu leysir geta náð míkron-hæðarborun, notaðir til að framleiða í gegnum- holu í keramik hringrásarborðum.
Ultrasonic Machining: Notar há-tíðni titring til að brjóta efni, hentugur til að vinna brothætt keramik eins og sirkon.
4. Yfirborðsmeðferð
Chemical Mechanical Polishing (CMP): Notað til að fletja yfirborð hálfleiðara keramik undirlags á nanóskala.
Húðunartækni: Leggur TiN húðun á yfirborð verkfæra til að bæta slitþol.
